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基于SiC-AlN双凹槽结构的MEMS全高温接触式电容压力传感器基础研究 学位论文
2011, 2011
吕浩杰
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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析 期刊论文
2010
吕浩杰; 胡国清; 邹卫; 吴灿云; 陈羽锋
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基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测 学位论文
2008, 2008
郭强
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