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科研机构
厦门大学 [3]
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2011 [1]
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2008 [1]
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基于SiC-AlN双凹槽结构的MEMS全高温接触式电容压力传感器基础研究
学位论文
2011, 2011
吕浩杰
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/02/14
全高温
碳化硅
氮化铝
双凹槽接触式电容压力传感器
钱伟长摄动法
有限元
结构优化
热分析
Full high-temperature
Silicon Carbide
Aluminum Nitride
Double-notches Touch Mode Capacitive Pressure Sensor (DTMCPS)
Qian Wei-chang perturbation method
Finite Element Method (FEM)
Structural optimization
Thermal analysis
高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析
期刊论文
2010
吕浩杰
;
胡国清
;
邹卫
;
吴灿云
;
陈羽锋
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2016/05/17
双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS)
热分析
有限元法
Double-cave Touch Mode Capacitive Pressure Sensor(DTMCPS)
thermal analysis
Finite Element Method(FEM)
基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测
学位论文
2008, 2008
郭强
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2016/02/14
接触式电容压力传感器
有限元分析
微机电系统
微电容检测电路
TMCPS
FEA
MEMS
Micro-Capacitance Test Circuits
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