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Carbonized tantalum catalysts for catalytic chemical vapor deposition of silicon films 期刊论文
thin solid films, 2012, 卷号: 520, 期号: 16, 页码: 5155-5160
作者:  Cheng, Shimin;  Gao, Huiping;  Ren, Tong;  Ying, Pinliang;  Li, Can
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