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电工研究所 [6]
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学位论文 [6]
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2009 [1]
2008 [1]
2007 [1]
2005 [2]
2004 [1]
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基于LCL滤波器拓扑的双馈风力发电机网侧变流器的研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2009
1张宪平,电工研究所
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2010/10/18
LCL滤波器
网侧变流器
有源阻尼
电压不平衡
谐波畸变
复合控制 LCL filter, grid-side converter, active damping, unbalanced voltage, harmonics distortion, compound control
基于SEM的电子束曝光软件系统研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1魏淑华,电工研究所
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/10/18
电子束曝光
软件系统
数据格式
图形分割
邻近效应校正 Electron beam lithography
Software system
Exposure data format
Graphics segmentation
Proximity effect correction
纳米级多功能聚焦离子束光柱体的研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2007
1李文萍,电工研究所
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/10/18
聚集离子束
动态校正
三维模型法
一体化设计
库仑力效应 Focused ion beam, Dynamic correction, 3-D modeling, Integrated design
扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究
学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2005
1李晨菲,电工研究所
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/10/18
电子束扫描曝光机
背散射电子检测电路
扫描场畸变
自动线性校正 Scanning-Electron-Beam Lithographic System
backscattered electron detection circuit
distortion of e-beam field
automatic correction
纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2005
1刘珠明,电工研究所
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/10/18
电子束曝光
纳米级聚焦偏转系统
高级像差 Electron beam lithography
Nanometer-scale focusing-deflection system
High-order aberrations
压电陶瓷管扫描非线性校正
学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2004
1王丹丹,电工研究所
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2010/10/18
压电陶瓷管扫描器
非线性
图像畸变
校正 Piezoceramic Tube Scanner
Nonlinearity
Image Distortion
Calibration
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