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题名	压电陶瓷管扫描非线性校正; 压电陶瓷管扫描非线性校正
作者	1王丹丹,电工研究所
学位类别	硕士
答辩日期	2004
授予单位	中国科学院电工研究所
导师	1杨忠山,电工研究所
关键词	压电陶瓷管扫描器 非线性 图像畸变 校正 Piezoceramic Tube Scanner Nonlinearity Image Distortion Calibration
其他题名	压电陶瓷管扫描非线性校正
学位专业	电力电子与电力传动
中文摘要	压电陶瓷管扫描器的非线性特征是造成扫描探针显微镜扫描图像畸变的主要原因，因此本课题开展压电陶瓷管扫描器非线性校正的研究工作。本课题从现有实验设备出发，提出一种开环校正方案，即利用迈克尔逊干涉仪测定PZT的伸长量与控制电压之间的相互关系，得到非线性曲线；根据非线性曲线确定拟合函数；通过拟合函数的反函数得到获得线性位移的电压控制数据；根据电压控制数据设计扫描校正软件，使XY扫描管工作在线性方式，据此有效消除由压电陶瓷管的非线性而引起的扫描图像畸变。依据上述校正思想，本文内容主要涉及设计和实验两大部分。其中设计部分包括压电扫描管X向和Y向PZT非线性曲线测量装置的设计以及扫描校正软件的设计，这部分内容在第二章和第三章中；实验部分包括实验数据及其处理以及实验结果等，这部分内容在第四章中。本论文总共有五章。除上述三章外，第一章是引言部分，第五章是课题的总结部分。 The nonlinearity of piezo scanner can cause feature distortion in SPM images, so the nonlinear calibration is researched in this paper. This dissertation provides a kind of calibration method in open loop. Firstly, mensurate the nonlinear curve of PZT by applying Michelson interference. Secondly, get the fit function of the nonlinear curve. Thirdly, gain the inverse function of the fit function. Fourthly, based on the inverse function, get the voltage data which can produce linear displacement. Finally, according to the voltage data, design SPM scanning program in order to make XY scanner work linearly. According to the calibration method above mentioned, this dissertation includes two main parts. The first one is the part of the design, which includes the design of the X-Y measuring equipment and scanning calibration software. This part exists in Chapter 2 and Chapter 3. In the second one, the data and result of the experiment are presented. The detail of this part of work is given in Chapter 4. The results of the experiment show that this method can effectively eliminate the image distortion which is caused by nonlinearity of piezotube.
语种	中文
公开日期	2010-10-18
页码	61
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/7359]
专题	电工研究所_其他部门_其他部门_硕士学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	1王丹丹,电工研究所. 压电陶瓷管扫描非线性校正, 压电陶瓷管扫描非线性校正[D]. 中国科学院电工研究所. 2004.

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