QQ客服 官方微博 反馈留言

题名	扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究; 扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究
作者	1李晨菲,电工研究所
学位类别	硕士
答辩日期	2005
授予单位	中国科学院电工研究所
导师	1薛虹,电工研究所
关键词	电子束扫描曝光机 背散射电子检测电路 扫描场畸变 自动线性校正 Scanning-Electron-Beam Lithographic System backscattered electron detection circuit distortion of e-beam field automatic correction
其他题名	扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究
学位专业	电力电子与电力传动
中文摘要	本文通过对扫描电子束曝光机标记信号检测及对准技术的分析，提出了背散射检测电路的设计方案和电路原理图，给出了实验结果；总结了电子束扫描场畸变的种类，给出了线性畸变的自动校正软件的设计方案和流程图；介绍了非线性畸变校正的方法。由于背散射电子信号的图像既可以显示样品的形貌也可以显示样品的成分所以选择背散射电子信号进行标记位置检测。检测器采用的是双半圆环形的半导体检测器。背散射检测电路是由检测器、模拟信号处理电路、A/D转换器、数字信号处理、计算机和控制单元组成的。为了提高电路的抗干扰能力，从电路原理图设计到PCB板制作都采取了一些抑制噪声的措施，本文对此做了详细介绍。总结了扫描场畸变的种类，以制作好的检测电路和现有的图形发生器为硬件基础，设计了扫描场线性畸变的自动校正软件。该软件是在WindowsXP操作系统中用C语言实现的。在程序中采用了许多技术手段，包括降噪处理、二值化、数字增强技术等。扫描场的非线性畸变种类较多，情况复杂，相应的校正方法也很多，可以作为以后深入研究的方向之一。文章最后讨论了课题的特点以及可能的发展方向。 After analyzing the mark signal of Scanning-Electron-Beam Lithographic System , it gives the scheme and block of backs.cattered electron detection circuit, also gives the result of the experiment. The paper summarizes how many kinds of distortion of e-beam field, exhibits the project and the flow chart of automatic-correction program about the linear distortion. The corrections to non-linear distortion of e-beam field is also presented. Because the image of backscattered electron could reveal structure of the mark as well as the surface, we chose the backscattered electron signal to detect the position of the mark. The dual-half semiconductor detector is used. The backscattered electron detection circuit is compos-d of detector, analog-signal processing circuit, A to D convertor digital-signal processing circuit, computer and control unit. Some measues in the circuit design and PCB making to restrain noise is taken and illuminated in the paper in detail.In the paper, some kinds of distortion of e-beam field are summed up. We design the correction software in the base of detection circuit and pattern generator. The condition of the software is Windows XP and C language. In the program, the method involves noises controlling, duallizing, digital-strong, and so on.Non-linear distortion is various and complicated , and the methods of correction are so many that it can be the target of deep research. At the last of the paper, the item's characteristic and the direction are discussed.
语种	中文
公开日期	2010-10-18
页码	63
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/7395]
专题	电工研究所_其他部门_其他部门_硕士学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	1李晨菲,电工研究所. 扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究, 扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究[D]. 中国科学院电工研究所. 2005.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。