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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：其他    发表日期：2009     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Performance Comparison of Methods to Evading Notching Effect for SOG Structures in DRIE 其他 2009-01-01 Ding, Haitao; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/11/10 conducting layer  deep reactive ion etching  notching effect  silicon on glass  SILICON BACKSIDE DAMAGE   Microcantilever Humidity Sensor Based on Embedded nMOSFET with < 100 >-Crystal-Orientation Channel 其他 2009-01-01 Wang, J.; Wu, W. G.; Huang, Y.; Hao, Y. L. 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 CMOS  TECHNOLOGY  ARRAY   A simple micro pirani vacuum gauge fabricated by bulk micromachining technology 其他 2009-01-01 Jinwen, Zhang; Wei, Jiang; Jilong, Zhou; Xin, Wang 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 A monolithic integrated micromachined piezoresistive flow sensor 其他 2009-01-01 Li, Dan; Zhao, T.; Qian, L.; Yang, Z.C.; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 An uncooled microcantilever IR detector based on bulk silicon technique 其他 2009-01-01 Yuliang, Yi; Xiaomei, Yu; Wenhua, Xu; Ming, Liu; Liquan, Dong; Xiaohua, Liu; Andi, Zhao; Yuejin, Zhao 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 Fabrication of flexible 3D microelectrode array with parylene-based pattern transfer technique 其他 2009-01-01 Xianju, Huang; Renxin, Wang; Wei, Wang; Zhihong, Li 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 Thermo-optic SOI waveguide switch matrix 其他 2009-01-01 Chen, Yuan-Yuan; Li, Yan-Ping; Yu, Jin-Zhong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13