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科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2011 [1]
2004 [1]
2000 [1]
1996 [1]
1989 [1]
学科主题
Multidisci... [5]
Materials ... [2]
Ceramics; ... [1]
Electroche... [1]
Engineerin... [1]
Multidisci... [1]
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Complexing Between Additives and Ceria Abrasives Used for Polishing Silicon Dioxide and Silicon Nitride Films
期刊论文
ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS, 2011, 卷号: 14, 期号: 3, 页码: H128-H131
Wang,LY
;
Liu,B
;
Song,ZT
;
Liu,WL
;
Feng,SL
;
Huang,D
;
Babu,SV
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/04/10
ELECTROCHEMICAL SOC INC
Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application
期刊论文
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2004, 卷号: 333, 期号: 3, 页码: 296-300
Wang,YJ
;
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Zhang,CS
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
REFRACTIVE-INDEX
ON-INSULATOR
THIN-FILMS
WAVE-GUIDE
AUGER-SPECTROSCOPY
INTEGRATED-OPTICS
NITRIDE FILMS
ELLIPSOMETRY
LAYERS
AlN thin films prepared by reactive ion beam coating
期刊论文
FUNDAMENTAL MECHANISMS OF LOW-ENERGY-BEAM-MODIFIED SURFACE GROWTH AND PROCESSING, 2000, 卷号: 585, 期号: 0, 页码: 251-256
Cheng,LL
;
Yu,YH
;
Sundaravel,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Lei,YM
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2012/03/24
AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY
ALUMINUM NITRIDE
DEPOSITION
GROWTH
Experimental studies of superhard materials carbon nitride CNx prepared by ion-beam synthesis method
期刊论文
SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 1996, 卷号: 39, 期号: 4, 页码: 404-411
Xin,HP
;
Lin,CL
;
Xu,HP
;
Zou,SC
;
Shi,XH
;
Wu,XL
;
Zhu,H
;
Hemment,PLF
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/25
STRUCTURAL-PROPERTIES
SILICON-NITRIDE
FILMS
IMPLANTATION
N+
SYNTHESIS OF SILICON-NITRIDE FILMS BY ION-BEAM-ENHANCED DEPOSITION AND THEIR PROTECTIVE PROPERTIES AGAINST OXIDATION
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING, 1989, 卷号: 120, 期号: 0, 页码: 519-523
TANIGUCHI,S
;
SHIBATA,T
;
NAKAMURA,K
;
LIU,XH
;
ZHENG,ZH
;
HWANG,W
;
Zou,SC
收藏
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提交时间:2012/03/25
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