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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2009     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Silicon-on-insulation-based deformable mirror array for adaptive optics 期刊论文 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2009, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 1291-1294 作者:  Wang, D. J.;  Yao, J.;  Qiu, C. K.;  Hu, F. R.;  Fan, T. Q. 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/09/21 adaptive optics  electrostatic actuators  finite element analysis  light reflection  micromachining  micromirrors  optical arrays  silicon-on-insulator  surface roughness   A simple micro pirani vacuum gauge fabricated by bulk micromachining technology 其他 2009-01-01 Jinwen, Zhang; Wei, Jiang; Jilong, Zhou; Xin, Wang 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 An uncooled microcantilever IR detector based on bulk silicon technique 其他 2009-01-01 Yuliang, Yi; Xiaomei, Yu; Wenhua, Xu; Ming, Liu; Liquan, Dong; Xiaohua, Liu; Andi, Zhao; Yuejin, Zhao 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 Silicon-on-insulation-based deformable mirror array for adaptive optics 期刊论文 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2009, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 1291-1294 作者:  Wang DJ;  Yao J;  Qiu CK;  et al. 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/22 An integrated MEMS tactile tri-axial micro-force probe sensor for Minimally Invasive Surgery 会议论文 作者:  Wang, Weizhong;  Zhao, Yulong;  Lin, Qijing 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/18 Bulk micromachining technology  Microforces  Minimally invasive surgeries (MIS)  Minimally invasive surgery  Probe sensor  Silicon on insulator wafers  Three-dimensional measurements  Tri-axial