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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Uniform Metal-Assisted Chemical Etching for Ultra-High-Aspect-Ratio Microstructures on Silicon 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2019, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 143-153 作者:  Li, Liyi;  Tuan, Chia-Chi;  Zhang, Cheng;  Chen, Yun;  Lian, Gang 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2019/12/11 Metal-assisted chemical etching  silicon wet etch  high aspect ratio   Uniform Metal-Assisted Chemical Etching for Ultra-High-Aspect-Ratio Microstructures on Silicon 期刊论文 Journal of Microelectromechanical Systems, 2018 作者:  Li L.;  Tuan C.;  Zhang C.;  Chen Y.;  Lian G. 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/12/11 high aspect ratio.  Metal-assisted chemical etching  silicon wet etch   Manufacturing of a Compact Micro Air Bearing Device for Power Micro Electro Mechanical System (MEMS) Applications Using Silica Film Assisted Processing 期刊论文 MICROMACHINES, 2018, 卷号: 9 作者:  Yu, Mingxing;  Lv, Pin;  Xu, Tiantong;  Tan, Xiao;  Li, Haiwang 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/30 micro air bearing  silicon dioxide film  DRIE etch  wet etch  bonding  power MEMS   Micropatterning microlens arrays fabricated by a femtosecond laser wet etch process 会议论文 作者:  Wei, Yang;  Yang, Qing;  Bian, Hao;  Chen, Feng 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/11/26 microlens array  silicon glass  femtosecond laser  femtosecond wet etch  micropattern   Preparation of silicon nanowires by in situ doping and their electrical properties 期刊论文 COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS, 2014, 卷号: 450, 页码: 156-160 作者:  Wang, Jindong;  He, Gen;  Qin, Jinwen;  Li, Lidong;  Guo, Xuefeng 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2019/04/09 Nanowire  Silicon  Afm  Wet Chemical Etch  Electrical Measurement  Dopant   Preparation of silicon nanowires by in situ doping and their electrical properties 期刊论文 colloids and surfaces a physicochemical and engineering aspects, 2014 Wang, Jindong; He, Gen; Qin, Jinwen; Li, Lidong; Guo, Xuefeng 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/11 Nanowire  Silicon  AFM  Wet chemical etch  Electrical measurement  Dopant  DOPANT DISTRIBUTION  SINGLE  DEVICES  MOSFETS  GROWTH  TMAH