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| HiPIMS 金属/气体离子比的调控及其对TiN涂层性能的影响 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2024
作者: 曾明亮
  收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2024/06/03
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| 脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
作者: 高海洋; 张斌
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2023/12/08
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| 高功率调制脉冲磁控溅射沉积NbN涂层特征工艺参数研究 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 页码: 302-308
作者: 李玉阁; 袁海; 蒋智韬; 雷明凯
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)等离子体 放电时空特性研究进展 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 页码: 20-52
作者: 韩明月; 李刘合; 李花; 艾猛; 罗阳
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/12/30
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| 基体偏压对HiPIMS制备非晶碳膜结构和光电性能的影响 期刊论文
材料研究学报, 2018, 卷号: 32, 期号: 04, 页码: 283-289
作者: 张栋; 王丽; 郭鹏; 左潇; 黄美东
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2018/12/04
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| 低温反应溅射沉积α-（Al，Cr）2O3膜 期刊论文
《材料研究学报》, 2018, 卷号: 32, 页码: 278-282
作者: 邱万奇[1] 王书林[1] 程奕天[1]; 钟喜春[1]; 焦东玲[1]; 周克崧[1,2]
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/04/22
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| 高功率脉冲磁控溅射等离子体放电特性研究现状 期刊论文
表面技术, 2018, 卷号: 47, 页码: 176-186
作者: 艾猛; 李刘合; 韩明月; 苗虎
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/30
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| 四元AlCrTiN高温耐磨涂层制备及性能研究 学位论文
2018
作者: 郑军
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2020/11/05
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| 高功率脉冲磁控溅射制备类石墨碳膜的光学和电学特性研究 期刊论文
2017, 页码: 1
作者: 王丽; 柯培玲; 汪爱英
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2018/12/04
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| 高功率脉冲磁控溅射制备技术的研究 期刊论文
2017, 页码: 1
作者: 柯培玲; 左潇; 汪爱英
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2018/12/04
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