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| 一种双端固支梁室温瓦斯传感器 其他
2015-09-02, 2015-09-02
马洪宇; 丁恩杰; 张卫东
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| 悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器 其他
2015-08-25, 2015-08-25
马洪宇; 丁恩杰; 张卫东
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| 一种串联式单片集成多结薄膜太阳能电池的制造方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 102157622A, 申请日期: 2013-05-01, 公开日期: 2014-01-20
作者: 黄寓洋 ; 殷志珍; 张耀辉; 李文; 崔国新
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| 一种无结薄膜晶体管的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2013-12-16
万青; 竺立强; 张洪亮
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| 短波红外InGaAs探测器关键工艺技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 李永富
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| MEMS耐高温压力传感器封装工艺 期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: 9, 页码: 9-11,14
作者: 孟超; 赵玉龙; 赵立波; 王新波; 刘元浩
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/18
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| 阵列激励电极式RF MEMS电容开关的设计与数值分析 学位论文
2008, 2008
刘肖
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列 期刊论文
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 150-155
作者: 李超波; 焦斌斌; 石莎莉; 叶甜春; 陈大鹏
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2010/05/26
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| 新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
邢向龙
收藏 | 浏览/下载：61/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 波分复用通信中光交错复用器的算法和结构研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2004
作者: 张娟
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2016/11/28
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