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MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应 期刊论文
2013
郑志霞; 冯勇建
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2016/05/17
基于SiC-AlN双凹槽结构的MEMS全高温接触式电容压力传感器基础研究 学位论文
2011, 2011
吕浩杰
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2016/02/14
高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析 期刊论文
2010
吕浩杰; 胡国清; 邹卫; 吴灿云; 陈羽锋
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2016/05/17
基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测 学位论文
2008, 2008
郭强
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2016/02/14
非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析 期刊论文
传感技术学报, 2008, 卷号: 21, 期号: 2, 页码: 276
尚永红
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2010/09/29
电容式压力微传感器及其无线测量系统 学位论文
2001, 2001
许金海
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2016/02/14
接触式电容压力微传感器的分析与设计 学位论文
2001, 2001
焦玉忠
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2016/02/14
双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程 期刊论文
2001
许高攀; 陈广文; 胡国清; 李志博
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2011/04/26


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