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厦门大学 [7]
电工研究所 [1]
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学位论文 [4]
期刊论文 [4]
发表日期
2013 [1]
2011 [1]
2010 [1]
2008 [2]
2001 [3]
学科主题
力学其他学科 [1]
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MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应
期刊论文
2013
郑志霞
;
冯勇建
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/05/17
接触电容
传感器
压力测量
温度效应
运算放大器
touch-mode capacitance
sensor
pressure test
temperature effect
op-amp
基于SiC-AlN双凹槽结构的MEMS全高温接触式电容压力传感器基础研究
学位论文
2011, 2011
吕浩杰
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/02/14
全高温
碳化硅
氮化铝
双凹槽接触式电容压力传感器
钱伟长摄动法
有限元
结构优化
热分析
Full high-temperature
Silicon Carbide
Aluminum Nitride
Double-notches Touch Mode Capacitive Pressure Sensor (DTMCPS)
Qian Wei-chang perturbation method
Finite Element Method (FEM)
Structural optimization
Thermal analysis
高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析
期刊论文
2010
吕浩杰
;
胡国清
;
邹卫
;
吴灿云
;
陈羽锋
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/05/17
双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS)
热分析
有限元法
Double-cave Touch Mode Capacitive Pressure Sensor(DTMCPS)
thermal analysis
Finite Element Method(FEM)
基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测
学位论文
2008, 2008
郭强
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
接触式电容压力传感器
有限元分析
微机电系统
微电容检测电路
TMCPS
FEA
MEMS
Micro-Capacitance Test Circuits
非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析
期刊论文
传感技术学报, 2008, 卷号: 21, 期号: 2, 页码: 276
尚永红
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2010/09/29
电容式压力微传感器及其无线测量系统
学位论文
2001, 2001
许金海
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
capacitive pressure sensor
touch mode
measurement circuit
wireless measurement system
电容压力传感器
接触式
测量电路
无线测量系统
接触式电容压力微传感器的分析与设计
学位论文
2001, 2001
焦玉忠
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/02/14
TMCPS
迟滞
DDTMCPS
TMCPS
hysteresis
DDTMCPS
双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程
期刊论文
2001
许高攀
;
陈广文
;
胡国清
;
李志博
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2011/04/26
双面接触式电容压力传感器
原理
工艺流程
自停止腐蚀
Double Sided Touch Mode Capacitive Pressure Sensor
Characteristics
Fabrication Process
Silicon-Silicon Bonding
Self-etch Stop Technique
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