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磁控溅射AlCrTiVZr高熵合金薄膜及高温性能研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:  文偲嘉
收藏  |  浏览/下载:150/0  |  提交时间:2019/05/30
一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法 专利
专利号: ZL201710328563.7, 申请日期: 2019-02-22,
作者:  夏原;  高方圆;  李光
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2020/02/09
磁控溅射制备氮化钽导电薄膜及其性能研究 期刊论文
电子元件与材料, 2018, 卷号: 37, 页码: 36-39
作者:  梁军生;  陈亮;  王金鹏;  张朝阳;  王大志
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2019/12/02
低温反应溅射沉积α-(Al,Cr)2O3膜 期刊论文
《材料研究学报》, 2018, 卷号: 32, 页码: 278-282
作者:  邱万奇[1] 王书林[1] 程奕天[1];  钟喜春[1];  焦东玲[1];  周克崧[1,2]
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2019/04/22
柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210550894.2, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2014-06-18
作者:  张俊彦;  张斌
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2017/05/08
VO2薄膜Vis-NIR及NIR-MIR椭圆偏振光谱分析 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2016, 卷号: 65, 期号: 12
作者:  Wang Pan-Pan;  Zhang Yu-Zhi;  Peng Ming-Dong;  Zhang Yun-Long;  Wu Ling-Nan
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2017/02/27
空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO_2薄膜(上) 期刊论文
2016, 2016
范崇治; Yoshiyuki Kubo; Yoshinori Iwabuchi; Masato Yoshikawa; Yoshiyuki Kubo; Yoshinori Iwabuchi; Masato Yoshikawa
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射频反应溅射制备MgO二次电子发射薄膜 期刊论文
金属学报, 2016, 期号: 1
王彬; 熊良银; 刘实
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2016/04/19
发射光谱反馈控制磁控溅射制备Cr-DLC多层膜 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016
作者:  朱洪亚
收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2016/08/29
一种具有择优取向的掺杂氧化铈催化薄膜及其制备和应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201410105729.5, 申请日期: 2015-11-01, 公开日期: 2015-09-23
作者:  程谟杰;  武卫明
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2015/11/16


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