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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 GaAs背面通孔刻蚀技术研究 期刊论文 功能材料与器件学报, 2004, 卷号: 10, 期号: 2, 页码: 255-258 作者:  刘训春;  陈震;  魏珂;  王润梅;  刘新宇 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/26 通孔  感应离子耦合（icp）  干法刻蚀   先进的深亚微米工艺技术及新型器件 成果 2004 主要完成人:  赵知夷;  叶甜春;  刘训春;  吴德馨;  李兵 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/09/07