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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2009    专题：兰州大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器 期刊论文 仪表技术与传感器, 2009, 期号: 10, 页码: 16-18+21 作者:  韦波;  杨子健;  王劲松;  杨建红 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/04/27 湿度传感器  CMOS工艺  等温吸附线  相对湿度(RH)   聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究 期刊论文 传感器与微系统, 2009, 期号: 4, 页码: 56-58 作者:  杨子健;  韦波;  王敬松;  崔千红;  杨建红 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/04/27 湿度传感器  电容  CMOS工艺  响应时间   基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制 期刊论文 半导体技术, 2009, 期号: 4, 页码: 385-388 作者:  杨子健;  韦波;  王敬松;  崔千红;  杨建红 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/04/27 湿度传感器  聚酰亚胺  平行板电容  CMOS工艺  响应时间