基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器

	基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器
	韦波; 杨子健; 王劲松; 杨建红
刊名	仪表技术与传感器
	2009-10-15
期号	10 页码:16-18+21
关键词	湿度传感器 CMOS工艺等温吸附线相对湿度(RH)
其他题名	基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器
中文摘要	设计了一种基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器,详细讲述了制作过程。通过引入平行板电容模型和水分子吸附模型研究了其工作机理,通过实验对其湿容特性、响应特性、湿滞等参数做了测试与分析。制作过程中的难点在于聚酰胺酸膜的亚胺化以及聚酰亚胺的光刻工艺。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102796]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	韦波,杨子健,王劲松,等. 基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器[J]. 仪表技术与传感器,2009(10):16-18+21.
APA	韦波,杨子健,王劲松,&杨建红.(2009).基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器.仪表技术与传感器(10),16-18+21.
MLA	韦波,et al."基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器".仪表技术与传感器 .10(2009):16-18+21.