聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究

	聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究
	杨子健; 韦波; 王敬松; 崔千红; 杨建红
刊名	传感器与微系统
	2009-04-20
期号	4 页码:56-58
关键词	湿度传感器电容 CMOS工艺响应时间
其他题名	聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究
中文摘要	改变传统丝网印刷制作电极的方法,采用正胶反刻、干湿结合的CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺为感湿介质的相对电容式湿度传感器。并对其结构进行了理论分析,确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间进行了测试。通过实验结果与模拟结果的对比分析,给出了该实验中存在的问题和改进意见。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102779]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	杨子健,韦波,王敬松,等. 聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究[J]. 传感器与微系统,2009(4):56-58.
APA	杨子健,韦波,王敬松,崔千红,&杨建红.(2009).聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究.传感器与微系统(4),56-58.
MLA	杨子健,et al."聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究".传感器与微系统 .4(2009):56-58.