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| MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文
传感器与微系统, 2017
谷专元; 何春华; 何燕华; 赵前程; 张大成
  收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究 期刊论文
传感技术学报, 2016
张义川; 缪旻; 方孺牛; 唐小平; 卢会湘; 严英占; 金玉丰
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文
传感技术学报, 2016
谷专元; 何春华; 陈俊光; 赵前程; 张大成; 闫桂珍
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计 期刊论文
江汉大学学报（自然科学版）, 2016
王振宇; 潘滔; 叶雨欣; 焦斌斌; 孔延梅
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 一种基于 MEMS 芯片的新型地面大气电场传感器 期刊论文
电子与信息学报, 2016
杨鹏飞; 陈博; 闻小龙; 彭春荣; 夏善红; 郝一龙
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/12/04
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| 硼硅酸盐玻璃晶片激光标识的制作技术 期刊论文
激光与红外, 2015
李悦
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/11/11
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| 谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试 期刊论文
电子与信息学报, 2015
毋正伟; 彭春荣; 杨鹏飞; 闻小龙; 李冰; 夏善红
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 用于MEMS仿生矢量水听器流激噪声抑制的“三明治”式封装结构设计与性能测试 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2014
张斌珍; 郝一龙; 张国军; 刘林仙; 王盼盼; 杨士莪; 张文栋
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/11/11
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| 基于环形肖特基二极管的MEMS陀螺仪接口ASIC电路温度特性分析与设计 期刊论文
传感技术学报, 2014
沈广冲; 鲁文高; 刘明星; 李小亮; 张雅聪; 陈中建
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2015/11/11
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| 微纳米分子系统研究领域的最新进展——IEEE NEMS 2014国际会议综述 期刊论文
太赫兹科学与电子信息学报, 2014
苏宗明; 刘雯; 胡威; 张海霞
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/11/11
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