基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计

doi:10.16389/j.cnki.cn42-1737/n.2016.03.010

CORC > 北京大学 > 软件与微电子学院

	基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计; Infrared Radiation Incentive Design Based on Test of MEMS Thermopile Devices
	王振宇 ; 潘滔 ; 叶雨欣 ; 焦斌斌 ; 孔延梅
刊名	江汉大学学报（自然科学版）
	2016
关键词	热电堆器件红外辐射激励 MEMS红外光源快门黑体发射率
DOI	10.16389/j.cnki.cn42-1737/n.2016.03.010
英文摘要	在微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)热电堆器件的测试中,如何给热电堆器件施加合理的周期性红外辐射激励是能否得到正确器件参数的关键.在开发适用于MEMS热电堆器件的晶圆级测试系统的过程中,提出了一种光学能量传输方案,该方案采用MEMS红外光源JSIR450替代了传统黑体炉作为红外辐射激励源,采用快门替代了光学斩波器对红外信号进行周期性调制.通过实验证明了该方案的有效性,且通过积分的方法证明了MEMS红外光源能量发射端的黑体发射率满足项目要求.; 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目; 3; 246-252; 44
语种	英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/454240]
专题	软件与微电子学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王振宇,潘滔,叶雨欣,等. 基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计, Infrared Radiation Incentive Design Based on Test of MEMS Thermopile Devices[J]. 江汉大学学报（自然科学版）,2016.
APA	王振宇,潘滔,叶雨欣,焦斌斌,&孔延梅.(2016).基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计.江汉大学学报（自然科学版）.
MLA	王振宇,et al."基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计".江汉大学学报（自然科学版） (2016).