真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究

doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2016.11.002

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究; Research of High Temperature Aging Failure Mechanism about Vacuum Packaging MEMS Gyroscope
	谷专元 ; 何春华 ; 陈俊光 ; 赵前程 ; 张大成 ; 闫桂珍
刊名	传感技术学报
	2016
关键词	微机械陀螺老化真空封装失效机理 micro mechanical gyroscope aging vacuum packaging failure mechanism
DOI	10.3969/j.issn.1004-1699.2016.11.002
英文摘要	为了快速掌握真空封装MEMS陀螺老化失效机理，陀螺进行125℃高温加速实验，并对不同时间节点下的陀螺关键性能进行参数提取。分析结果表明，由于高温老化导致MEMS陀螺内部材料放气、疲劳和应力释放，从而改变品质因子和初始检测电容，最终导致陀螺的零偏、角随机游走系数、零偏稳定性、标度因子等关键性能的严重退化。在工程实际中有一定的参考价值。; In order to learning the aging failure mechanism of vacuum packaging MEMS gyroscopes,here we start an accelerating experiment on gyroscopes in high temperature 125℃,and extracting the key performance parame?ters of gyroscope in different period. The analysis shows that high temperature brings about leakage,fatigue and stress relief of MEMS gyroscopes’inside materials,changes the quality factor and beginning detecting capacitance, finally leads to the serious degradation of gyroscopes’key performance,such as bias,angle random walk,bias sta?bility,scale factor,which provides theoretical basis for improving the performance and reliability of gyroscopes. In engineering practice,this paper has a certain practical reference.; 国家自然基金项目(61434003)；电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室开放基金项目; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 11; 1637-1642; 29
语种	英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/478216]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	谷专元,何春华,陈俊光,等. 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究, Research of High Temperature Aging Failure Mechanism about Vacuum Packaging MEMS Gyroscope[J]. 传感技术学报,2016.
APA	谷专元,何春华,陈俊光,赵前程,张大成,&闫桂珍.(2016).真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究.传感技术学报.
MLA	谷专元,et al."真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究".传感技术学报 (2016).