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北京大学 [29]
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期刊论文 [19]
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2016 [1]
2012 [2]
2011 [1]
2009 [1]
2008 [1]
2006 [3]
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基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计
期刊论文
江汉大学学报(自然科学版), 2016
王振宇
;
潘滔
;
叶雨欣
;
焦斌斌
;
孔延梅
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/12/03
热电堆器件
红外辐射激励
MEMS红外光源
快门
黑体发射率
KOH湿法腐蚀中防金属腐蚀工艺研究
期刊论文
传感器与微系统, 2012
刘勐
;
刘欣
;
张威
;
郝一龙
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/11
KOH湿法腐蚀
微机电系统
PROTEK材料
体硅工艺
微纳机电系统(MEMS/NEMS)前沿
期刊论文
中国科学信息科学, 2012
李志宏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
微纳机电系统
单片集成
微电子
纳米技术
基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2011
杨振川
;
吕佳楠
;
闫桂珍
;
陈敬
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
干法刻蚀 氮化镓(GaN) MEMS dry etching gallium nitride (GaN) MEMS
Ti DRIE中Lag效应的基础研究
其他
2009-01-01
张乐吟
;
赵刚
;
舒琼
;
田尧
;
陈兢
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
金属钛 加工工艺 感应耦合 机械特性 耐腐蚀性 微机电系统
16×16光开关微镜阵列
期刊论文
半导体学报, 2008
陈庆华
;
吴文刚
;
王子千
;
闫桂珍
;
郝一龙
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
光开关 微镜阵列 大角度 静电驱动 微电机系统PACC:4283 4225B 4230Q optical switch micro-mirror array large rotation electrostatic actuation MEMS
一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2006
范炜
;
郭会勇
;
施文典
;
陈兢
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/10/23
微机电系统
RF开关
吸合
瞬态模拟
集总参数分析
Post-CMOS
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜
期刊论文
传感技术学报, 2006
栗大超
;
吴文刚
;
袁勇
;
陈庆华
;
郝一龙
;
胡小唐
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度 MEMS torsion micromirror silicon micromachining SOI compound driving structures surface roughness
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜
其他
2006-01-01
栗大超
;
吴文刚
;
袁勇
;
陈庆华
;
郝一龙
;
胡小唐
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度
基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术
期刊论文
天津大学学报, 2005
金翠云
;
靳世久
;
栗大超
;
冯亚林
;
郝一龙
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/11
微机电系统 机器微视觉 动态测试 模糊图像 光学检测 亚像素
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