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基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计 期刊论文
江汉大学学报(自然科学版), 2016
王振宇; 潘滔; 叶雨欣; 焦斌斌; 孔延梅
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KOH湿法腐蚀中防金属腐蚀工艺研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012
刘勐; 刘欣; 张威; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/11/11
微纳机电系统(MEMS/NEMS)前沿 期刊论文
中国科学信息科学, 2012
李志宏
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2015/11/11
基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2011
杨振川; 吕佳楠; 闫桂珍; 陈敬
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2015/11/11
Ti DRIE中Lag效应的基础研究 其他
2009-01-01
张乐吟; 赵刚; 舒琼; 田尧; 陈兢
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/11/12
16×16光开关微镜阵列 期刊论文
半导体学报, 2008
陈庆华; 吴文刚; 王子千; 闫桂珍; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/11/12
一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2006
范炜; 郭会勇; 施文典; 陈兢
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基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 期刊论文
传感技术学报, 2006
栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2015/11/11
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 其他
2006-01-01
栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2015/11/12
基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术 期刊论文
天津大学学报, 2005
金翠云; 靳世久; 栗大超; 冯亚林; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/11/11


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