一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计

doi:10.3969/j.issn.1672-6030.2006.01.006

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计; Design and Analysis of a Lateral Lateral DC-Contact MEMS RF Switch with High Performance
	范炜 ; 郭会勇 ; 施文典 ; 陈兢
刊名	纳米技术与精密工程
	2006
关键词	微机电系统 RF开关吸合瞬态模拟集总参数分析 Post-CMOS
DOI	10.3969/j.issn.1672-6030.2006.01.006
英文摘要	设计了一种新型横向接触式微机械RF开关,描述了其结构和工作原理.采用以电镀为主的工艺流程,并利用SU8光刻胶实现特殊器件结构,可实现Post-CMOS集成.利用模拟软件CoventorWare 2004和MEMS Pro 5.0(包含ANSYS 8.0)协同设计,对该器件进行了静态、模态和瞬态分析,得到吸合电压和吸合时间等重要性能参数.尤其在瞬态分析时运用了集总参数建模的方法,简化了计算.该器件的吸合电压低于30 V,在驱动电压为50 V的情况下,吸合时间达到16.1 ms.; 0
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/22467]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	范炜,郭会勇,施文典,等. 一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计, Design and Analysis of a Lateral Lateral DC-Contact MEMS RF Switch with High Performance[J]. 纳米技术与精密工程,2006.
APA	范炜,郭会勇,施文典,&陈兢.(2006).一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计.纳米技术与精密工程.
MLA	范炜,et al."一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计".纳米技术与精密工程 (2006).