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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Galvanic Corrosion of TiN-W Electro-couple During Tungsten Chemical Mechanical Polishing 期刊论文 http://epub.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=DHXX200102007&dbname=CJFQ2001, 2001 程璇; 林昌健 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2013/07/17 化学机械抛光  电化腐蚀  球面平整度   钨的化学机械抛光过程中TiN-W电偶的腐蚀行为(英文) 期刊论文 http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract9264.shtml, 2001 程璇; 林昌健; CHENG Xuan; LIN Chang_Jian 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2013/11/18 化学机械抛光  电化腐蚀  球面平整度  Chemical mechanical polishing  Galvanic corrosion  Global planarity