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| 扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 姜珊
  收藏 | 浏览/下载：101/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 基于高阶光栅的高功率单纵模半导体激光器的研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 贾鹏
收藏 | 浏览/下载：47/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 李永
收藏 | 浏览/下载：79/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 激光干涉光刻法制备SiO2光子晶体薄膜 学位论文
2014, 2014
陈辰
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2016/01/12
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| 高斯激光诱导非线性薄膜光场热场特性及超分辨图形刻写研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 王睿
收藏 | 浏览/下载：35/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 朱锋
收藏 | 浏览/下载：140/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光栅成像扫描光刻技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者: 俞斌
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1周远,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：71/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 软X射线多层膜沉积技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2001
作者: 祝国龙
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文
作者: 郑亚忠
收藏 | 浏览/下载：268/0 | 提交时间：2018/12/26
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