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基于自适应光学的激光束整形系统研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  何杰铃
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/01/06
高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  宋强
收藏  |  浏览/下载：221/0  |  提交时间：2016/11/28
光刻机照明均匀化技术的研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:  肖艳芬
收藏  |  浏览/下载：313/0  |  提交时间：2016/11/28
基于二元光学元件的三维聚焦光场整形技术 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:  余俊杰
收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2016/11/28
高均匀复杂光刻照明系统技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
林妩媚
收藏  |  浏览/下载：157/0  |  提交时间：2014/12/11
压印技术和光学超分辨的应用研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  王伟
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28
超分辨效应和二次光栅波前测量技术 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者:  周素梅
收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2016/11/28
光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究 学位论文
作者:  马健
收藏  |  浏览/下载：1358/0  |  提交时间：2018/12/26

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