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一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法 其他
2015-09-02, 2015-09-02
马洪宇; 丁恩杰; 刘晓文; 赵小虎
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/06/15
一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 其他
2007-01-01
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11
对准键合精度检测系统 其他
2004-01-01
张大成; 李婷; 王颖; 王兆江; 郝一龙; 王阳元
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13
对准键合精度检测装置 其他
2004-01-01
张大成; 李婷; 王颖; 王兆江; 郝一龙; 王阳元
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13
一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构 其他
2003-01-01
缪旻; 肖志勇; 武国英; 金玉丰; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11
基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术 其他
2003-01-01
金翠云; 靳世久; 冯亚林; 彭柯; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12
离子注入对Si<,3>N<,4>薄膜应力的影响 其他
2003-01-01
张国炳; 徐嘉佳; 张劲宇; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13
一种振动式微硅陀螺的设计与优化 其他
2001-01-01
杨振川; 郝一龙; 武国英
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/10/23
MEMS惯性传感器封装的基础研究 其他
2000-01-01
金玉丰; 武国英; 李志宏; 张禄平; 赵雷
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SOI MEMS加工工艺研究 其他
2000-01-01
李志宏; 张大成; 郝一龙; 李婷; 杨振川; 王颖; 赵立岩; 刘诗美; 武国英
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11

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