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	一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法
	马洪宇 ; 丁恩杰 ; 刘晓文 ; 赵小虎
	2015-09-02 ; 2015-09-02
中文摘要	一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法，适用于煤矿检测使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料，加热元件同时作为敏感元件，且不需催化剂载体及催化剂材料；加工工艺与CMOS工艺兼容，加热元件的释放采用双向同时刻蚀的湿法硅刻蚀技术。该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。; 专利类型： 发明专利 申请（专利）号： CN201410606852.5 申请日期： 2014年10月31日 公开(公告)日： 2015年1月28日 公开(公告)号： CN104316578A 主分类号： G01N27/18,G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27 分类号： G01N27/18,G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27,G01N27/18,G01N27/00 申请（专利权）人： 中国矿业大学 发明（设计）人： 马洪宇,丁恩杰,刘晓文,赵小虎 主申请人地址： 221116 江苏省徐州市大学路1号中国矿业大学科研院 专利代理机构： 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人： 杨晓玲 国别省市代码： 江苏;32 主权项： 一种MEMS甲烷传感器，其特征在于：它包括P型硅衬底（01），P型硅衬底（01）上设有N型硅（02）；以所述P型硅衬底（01）上的N型硅（02）加工制备硅加热元件（101）；所述硅加热元件（101）包括两个固定端（102）、硅加热器（1011）、两个硅悬臂（1012）；所述单个的硅悬臂（1012）长度至少300um；所述单个的硅悬臂（1012）的一端与硅加热器（1011）相连，另一端与一个固定端（102）相连，为硅加热器（1011）提供电连接；所述两个硅悬臂（1012）平行并排设置、与硅加热器（1011）整体构成U形悬臂结构，将硅加热器（1011）悬于空气中；所述硅加热元件（101）的硅加热器（1011）及硅悬臂（1012）外表面设有钝化保护层（22）； 所述固定端（102）设在P型硅衬底（01）上，包括N型硅（02）、N型硅（02）上的氧化硅层（20）及用作电引出焊盘Pad金属（21），所述电引出焊盘Pad金属（21）设在N型硅（02）之上的氧化硅层（20）上，且电引出焊盘Pad金属（21）通过氧化硅层（20）的窗口与其下面的N型硅（02）直接接触构成欧姆接触，电引出焊盘Pad金属（21）与其下的N型硅层（02）接触部分没有氧化硅层（20）；在所述硅加热元件（101）及其固定端（102）周围设置有去除掉N型硅的隔离沟槽（103），所述隔离沟槽（103）使所述硅加热元件（101）及其固定端（102）的N型硅与P型硅衬底（01）上的其余N型硅之间为高阻状态，尤其是设在P型硅衬底（01）上的硅加热元件（101）的两个固定端（102）之间除了由硅悬臂（1012）和硅加热器（1011）构成的电通路之外无其它电路通路。 法律状态： 公开 ，实质审查的生效 ，实质审查的生效
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/232060/11529]
专题	中国矿业大学（徐州）
推荐引用方式 GB/T 7714	马洪宇,丁恩杰,刘晓文,等. 一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法. 2015-09-02, 2015-09-02.

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