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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Performance improvement of chemo-mechanical grinding in single crystal silicon machining by the assistance of elliptical ultrasonic vibration 期刊论文 http://dx.doi.org/10.1504/IJAT.2011.041607, 2011 Wu, Yongbo; Li, Yaguo; Wang, Zhenzhong; Yang, Wei; Zhou, Libo; 王振忠; 杨炜 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/07/22 Chemical mechanical polishing  Grinding (comminution)  Machining  Monocrystalline silicon  Semiconducting silicon compounds  Silicon wafers  Single crystals  Stripping (removal)  Surface defects  Surfaces  Ultrasonic effects  Ultrasonic waves -   二维超声振动辅助固结磨粒加工技术及实验研究 学位论文 2011, 2011 王振忠 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/02/14 二维超声振动  辅助加工  化学机械磨削  加工质量  加工效率  Two dimensional ultrasonic vibration  Assisted machining  Chemical mechanical grinding  Machining quality  Machining efficiency   Development of a Two-dimensional Ultrasonic Vibration Assisted Machining Technology with Tool Vibration 其他 2011-01-01 Wang, Z. Z.; Guo, Y. B.; Wu, Y. B.; 郭隐彪 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/22 四轴数控精密研磨平台系统设计与实现 学位论文 2011, 2011 饶睿智 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/02/14 超精密加工  运动控制卡  加工轨迹  ultra precision machining  motion control card  machining trajectory