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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2007    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀   音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析 期刊论文 机械工程学报, 2007, 期号: 08 姜涛; 王安麟; 刘广军; 张颖; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/01/06 硅纳米线  选择性腐蚀  BOE溶液  pn结   基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计 期刊论文 中国电机工程学报, 2007, 期号: 03 赵本刚; 徐静; 高翔; 刘玉菲; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 串联电池组  电压测量  光电继电器  一致性  漏电流   音叉振动式微机械陀螺固有频率的统计特性分析 期刊论文 航空学报, 2007, 期号: 01 姜涛; 王安麟; 张颖; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/06 微电子机械系统  红外探测器  气动  Golay腔