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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2018    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Research on ion implantation in MEMS device fabrication by theory, simulation and experiments 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 2018, 卷号: 32 作者:  Bai, Minyu;  Zhao, Yulong;  Jiao, Binbin;  Zhu, Lingjian;  Zhang, Guodong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/11/26 fabrication  Ion implantation  microelectromechanical systems (MEMS)   Effects of Pd ion implantation and Si addition on wettability of Al/SiC system 期刊论文 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 335, 页码: 198-204 作者:  Huang, Zhikun;  Zhang, Xiangzhao;  Wang, Tingting;  Liu, Guiwu;  Shao, Haicheng 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/11/26 Interfaces  Ion implantation  SiC  Wettability   Wettability of Si and Al-12Si alloy on Pd-implanted 6H-SiC 期刊论文 CHINESE PHYSICS B, 2018, 卷号: 27 作者:  Wang, Ting-Ting;  Liu, Gui-Wu;  Huang, Zhi-Kun;  Zhang, Xiang-Zhao;  Xu, Zi-Wei 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/26 ceramics  defects  ion implantation  surfaces  wettability   Investigation of microstructure and properties of ultrathin graded ZrNx self-assembled diffusion barrier in deep nano-vias prepared by plasma ion immersion implantation 期刊论文 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 卷号: 427, 页码: 950-955 作者:  Zou, Jianxiong;  Liu, Bo;  Lin, Liwei;  Lu, Yuanfu;  Dong, Yuming 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/11/26 Cu interconnects  Electron energy loss spectroscopy  Graded ZrNx barrier  Plasma immersion ion implantation