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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：华南理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Output performance of silicon pressure sensor influenced by deformation of sensor substrate (EI收录) 期刊论文 Huanan Ligong Daxue Xuebao/Journal of South China University of Technology (Natural Science), 2015, 卷号: 43, 页码: 1-8 作者:   收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/04/25 Deformation  Pressure sensors  Silicon  Silicon sensors  Stresses  Structural optimization  Substrates