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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 High operating temperature pBn barrier mid-wavelength infrared photodetectors and focal plane array based on InAs/InAsSb strained layer superlattices 期刊论文 OPTICS EXPRESS, 2020, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 17611-17619 作者:  Gongrong Deng;   Dongqiong Chen;   Shaopei Yang;   Chaowei Yang;   Jun Yuan;   Wenyun Yang;   Yiyun Zhang 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2021/06/16 A Novel Piezoresistive MEMS Pressure Sensors Based on Temporary Bonding Technology 期刊论文 SENSORS, 2020, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 337 作者:  Peishuai Song;  Chaowei Si;  Mingliang Zhang;  Yongmei Zhao;  Yurong He;  Wen Liu;  Xiaodong Wang 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2021/12/16 A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer 期刊论文 Micromachines, 2019, 卷号: 10, 期号: 9, 页码: 589 作者:  Jian Yang;   Meng Zhang;   Yurong He;   Yan Su ;   Guowei Han ;   Chaowei Si ;   Jin Ning;   Fuhua Yang ;   Xiaodong Wang 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2020/08/05 A T-Shape Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Resonant Accelerometer 期刊论文 Journal of Microelectromechanical Systems, 2019, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 776-781 作者:  Jian Yang;  Meng Zhang;  Chaowei Si;  Guowei Han;  Jin Ning;  Fuhua Yang;  Xiaodong Wang 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/08/05 Research on a 3D Encapsulation Technique for Capacitive MEMS Sensors Based on Through Silicon Via 期刊论文 Sensors, 2019, 卷号: 19, 页码: 93 作者:  Meng Zhang;   Jian Yang ;   Yurong He ;   Fan Yang ;   Fuhua Yang ;   Guowei Han ;   Chaowei Si;   Jin Ning 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2020/08/05 Research on the Protrusions Near Silicon-Glass Interface during Cavity Fabrication 期刊论文 Micromachines, 2019, 卷号: 10, 页码: 420 作者:  Meng Zhang;  Jian Yang;  Yurong He;  Fan Yang;  Yongmei Zhao;  Fen Xue;  Guowei Han;  Chaowei Si;  Jin Ning 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2020/08/05 A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope 期刊论文 MICROMACHINES, 2019, 卷号: 10, 页码: 244 作者:  Jian Yang;   Chaowei Si;   Guowei Han ;   Meng Zhang ;   Jin Ning;   Yongmei Zhao ;   Fuhua Yang;   Xiaodong Wang 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/08/05