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科研机构
兰州大学 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
1993 [1]
1992 [3]
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渗硼铁衬底上利用热丝辅助r.f等离子体CVD法生长C-BN薄膜
期刊论文
甘肃科学学报, 1993, 期号: 3, 页码: 33-36
作者:
姬荣斌
;
王万录
;
廖克俊
;
刘爱民
;
蒋志成
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提交时间:2015/04/27
c—BN薄膜
等离子体CVD
附着力
直流等离子体化学汽相沉积法合成的金刚石膜的内应力研究
期刊论文
物理学报, 1992, 期号: 11, 页码: 1906-1912
作者:
王万录
;
高锦英
;
廖克俊
;
刘爱民
收藏
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浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2015/04/27
金刚石膜:7489
内应力:3309
汽相沉积:2845
衬底温度:2531
等离子体化学:2428
金刚石颗粒:1946
张应力:1825
压缩应力:1764
直流:1088
晶粒间界:1063
直流等离子体CVD法在Si(100)衬底上局部定向核化及外延生长金刚石膜
期刊论文
半导体技术, 1992, 期号: 2, 页码: 59-60+63
作者:
王万录
;
廖克俊
;
高锦英
;
刘爱民
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/04/27
金刚石膜生长:5972
定向核:5081
直流等离子体CVD:4137
外延生长:3779
定向生长:1657
预处理:1150
金刚石晶体:1065
正常条件:832
正常生长:787
反应气体:767
反应溅射法Cd_2SnO_4膜光学性质的研究
期刊论文
甘肃科学学报, 1992, 期号: 1, 页码: 25-27
作者:
王万录
;
廖克俊
;
刘爱民
;
胡成生
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提交时间:2015/04/27
光隙:5093
反应溅射法:5064
4膜:4407
光学性质:3705
氧浓度:2270
导带电子:1713
退火处理:1662
光透射率:1435
Cd_2SnO_4薄膜:1187
光透射谱:959
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