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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 直流等离子体化学汽相沉积法合成的金刚石膜的内应力研究 期刊论文 物理学报, 1992, 期号: 11, 页码: 1906-1912 作者:  王万录;  高锦英;  廖克俊;  刘爱民 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/04/27 金刚石膜:7489  内应力:3309  汽相沉积:2845  衬底温度:2531  等离子体化学:2428  金刚石颗粒:1946  张应力:1825  压缩应力:1764  直流:1088  晶粒间界:1063