×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
半导体研究所 [13]
内容类型
期刊论文 [12]
会议论文 [1]
发表日期
2008 [2]
2007 [1]
2006 [2]
2005 [5]
2003 [2]
2001 [1]
更多...
学科主题
半导体材料 [6]
半导体物理 [4]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共13条,第1-10条
帮助
限定条件
专题:半导体研究所
第一署名单位
第一作者单位
通讯作者单位
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
High rate deposition of microcrystalline silicon films by high-pressure radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
期刊论文
science in china series e-technological sciences, 2008, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-377
Zhou, BQ
;
Zhu, MF
;
Liu, FZ
;
Liu, JL
;
Zhou, YQ
;
Li, GH
;
Ding, K
收藏
  |  
浏览/下载:45/5
  |  
提交时间:2010/03/08
radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (rf-PECVD)
microcrystalline silicon film
high rate deposition
Peculiarity of constant photocurrent method for silicon films with mixed amorphous-nanocrystalline structure
期刊论文
journal of non-crystalline solids, 2008, 卷号: 354, 期号: 19-25, 页码: 2282-2285
Kazanskii, AG
;
Kong, GL
;
Zeng, XB
;
Hao, HY
;
Liu, FZ
收藏
  |  
浏览/下载:104/29
  |  
提交时间:2010/03/08
silicon
conductivity
chemical vapor deposition
microcrystallinity
absorption
photoconductivity
The correlation between preferred orientation and performance of ITO thin films
期刊论文
journal of materials science-materials in electronics, 2007, 卷号: 18 suppl.1, 期号: 0, 页码: s411-s414
Chen Y (Chen Yao)
;
Zhou YQ (Zhou Yuqin)
;
Zhang QF (Zhang Qunfang)
;
Zhu MF (Zhu Meifang)
;
Liu FZ (Liu Fengzhen)
收藏
  |  
浏览/下载:27/0
  |  
提交时间:2010/03/29
ELECTRICAL-PROPERTIES
High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile
期刊论文
thin solid films, 2006, 卷号: 515, 期号: 2, 页码: 452-455
Gu JH (Gu Jinhua)
;
Zhu MF (Zhu Meifang)
;
Wang LJ (Wang Liujiu)
;
Liu FZ (Liu Fengzhen)
;
Zhou BQ (Zhou Bingqing)
;
Ding K (Ding Kun)
;
Li GH (Li Guohua)
收藏
  |  
浏览/下载:38/0
  |  
提交时间:2010/04/11
microcrystalline Si thin film
hydrogen dilution profiling
incubation layer
uniformity
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THIN
ALLOYS
CVD
High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile
会议论文
12th international conference on thin films, bratislava, slovakia, sep 15-20, 2002
Gu, JH (Gu, Jinhua)
;
Zhu, MF (Zhu, Meifang)
;
Wang, LJ (Wang, Liujiu)
;
Liu, FZ (Liu, Fengzhen)
;
Zhou, BQ (Zhou, Bingqing)
;
Ding, K (Ding, Kun)
;
Li, GH (Li, Guohua)
收藏
  |  
浏览/下载:189/19
  |  
提交时间:2010/03/29
microcrystalline Si thin film
The compact microcrystalline si thin film with structure uniformity in the growth direction by hydrogen dilution profile
期刊论文
Journal of applied physics, 2005, 卷号: 98, 期号: 9, 页码: 6
作者:
Gu, J
;
Zhu, MF
;
Wang, LJ
;
Liu, FZ
;
Zhou, BQ
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2019/05/12
Study on growth mechanism of low-temperature prepared microcrystalline si thin films
期刊论文
Acta physica sinica, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1890-1894
作者:
Gu, JH
;
Zhou, YQ
;
Zhu, MF
;
Li, GH
;
Kun, D
收藏
  |  
浏览/下载:24/0
  |  
提交时间:2019/05/12
Growth mechanism
Microcrystalline silicon thin film
Surface morphology
Hot wire chemical vapor deposition
The compact microcrystalline Si thin film with structure uniformity in the growth direction by hydrogen dilution profile
期刊论文
journal of applied physics, 2005, 卷号: 98, 期号: 9, 页码: art.no.093505
Gu J
;
Zhu MF
;
Wang LJ
;
Liu FZ
;
Zhou BQ
;
Zhou YQ
;
Ding K
;
Li GH
收藏
  |  
浏览/下载:82/18
  |  
提交时间:2010/03/17
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
Study on growth mechanism of low-temperature prepared microcrystalline Si thin films
期刊论文
acta physica sinica, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1890-1894
Gu, JH
;
Zhou, YQ
;
Zhu, MF
;
Li, GH
;
Kun, D
;
Zhou, BQ
;
Liu, FZ
;
Liu, JL
;
Zhang, QF
收藏
  |  
浏览/下载:47/0
  |  
提交时间:2010/03/17
growth mechanism
The microstructure of hydrogenated microcrystalline silicon thin films studied by small-angle x-ray scattering
期刊论文
acta physica sinica, 2005, 卷号: 54, 期号: 5, 页码: 2172-2175
Zhou BQ
;
Liu FZ
;
Zhu MF
;
Gu JH
;
Zhou YQ
;
Liu JL
;
Dong BZ
;
Li GH
;
Ding K
收藏
  |  
浏览/下载:81/48
  |  
提交时间:2010/03/17
hydrogenated microcrystalline silicon thin film
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace