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科研机构
半导体研究所 [6]
内容类型
期刊论文 [5]
会议论文 [1]
发表日期
2008 [2]
2007 [1]
2006 [2]
2005 [1]
学科主题
半导体材料 [6]
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学科主题:半导体材料
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High rate deposition of microcrystalline silicon films by high-pressure radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
期刊论文
science in china series e-technological sciences, 2008, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-377
Zhou, BQ
;
Zhu, MF
;
Liu, FZ
;
Liu, JL
;
Zhou, YQ
;
Li, GH
;
Ding, K
收藏
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浏览/下载:45/5
  |  
提交时间:2010/03/08
radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (rf-PECVD)
microcrystalline silicon film
high rate deposition
Peculiarity of constant photocurrent method for silicon films with mixed amorphous-nanocrystalline structure
期刊论文
journal of non-crystalline solids, 2008, 卷号: 354, 期号: 19-25, 页码: 2282-2285
Kazanskii, AG
;
Kong, GL
;
Zeng, XB
;
Hao, HY
;
Liu, FZ
收藏
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浏览/下载:104/29
  |  
提交时间:2010/03/08
silicon
conductivity
chemical vapor deposition
microcrystallinity
absorption
photoconductivity
The correlation between preferred orientation and performance of ITO thin films
期刊论文
journal of materials science-materials in electronics, 2007, 卷号: 18 suppl.1, 期号: 0, 页码: s411-s414
Chen Y (Chen Yao)
;
Zhou YQ (Zhou Yuqin)
;
Zhang QF (Zhang Qunfang)
;
Zhu MF (Zhu Meifang)
;
Liu FZ (Liu Fengzhen)
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2010/03/29
ELECTRICAL-PROPERTIES
High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile
期刊论文
thin solid films, 2006, 卷号: 515, 期号: 2, 页码: 452-455
Gu JH (Gu Jinhua)
;
Zhu MF (Zhu Meifang)
;
Wang LJ (Wang Liujiu)
;
Liu FZ (Liu Fengzhen)
;
Zhou BQ (Zhou Bingqing)
;
Ding K (Ding Kun)
;
Li GH (Li Guohua)
收藏
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2010/04/11
microcrystalline Si thin film
hydrogen dilution profiling
incubation layer
uniformity
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THIN
ALLOYS
CVD
High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile
会议论文
12th international conference on thin films, bratislava, slovakia, sep 15-20, 2002
Gu, JH (Gu, Jinhua)
;
Zhu, MF (Zhu, Meifang)
;
Wang, LJ (Wang, Liujiu)
;
Liu, FZ (Liu, Fengzhen)
;
Zhou, BQ (Zhou, Bingqing)
;
Ding, K (Ding, Kun)
;
Li, GH (Li, Guohua)
收藏
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浏览/下载:189/19
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提交时间:2010/03/29
microcrystalline Si thin film
Study on growth mechanism of low-temperature prepared microcrystalline Si thin films
期刊论文
acta physica sinica, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1890-1894
Gu, JH
;
Zhou, YQ
;
Zhu, MF
;
Li, GH
;
Kun, D
;
Zhou, BQ
;
Liu, FZ
;
Liu, JL
;
Zhang, QF
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提交时间:2010/03/17
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