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a-SiO_x∶H/a-SiO_y∶H多层薄膜微结构的退火行为 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 576
郭震宁; 黄永箴; 郭亨群; 李世忱; 王启明
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