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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design and Fabrication of a Hollow Micro-disk Mass Sensor 期刊论文 2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 1138-1141 Zhao, L; Jiao, J; Zhang, Y; Mi, B; Gu, J; Zhou, P; Zhang, X 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/24 A novel x-axis tuning fork gyroscope with "8 vertical springs-proofmass" structure on (111) silicon 期刊论文 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 1009-1013 Duan, F; Jiao, JW; Wang, YC; Zhang, Y; Mi, BW; Li, JP; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2011/12/17 SBM PROCESS  SILICON   A novel x-axis tuning fork gyroscope with "8 vertical springs-proofmass" structure on (111) silicon 期刊论文 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 1009-1013 Duan, F; Jiao, JW; Wang, YC; Zhang, Y; Mi, BW; Li, JP; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/12/17 SBM PROCESS  SILICON   A novel x-axis tuning fork gyroscope with "8 vertical springs-proofmass" structure on (111) silicon 期刊论文 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 2 Pages, 页码: 1009-1013 Duan, F; Jiao, JW; Wang, YC; Zhang, Y; Mi, BW; Li, JP; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/05/12