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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 High Q Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process 期刊论文 IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 2414-2415 Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23 Dry release fabrication  hybrid etching  micromechanical resonators  pre-etched cavity   Wheatstone bridge piezoresistive sensing for bulk-mode micromechanical resonator 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 101, 期号: 19, 页码: 193505 Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/04/23 micromechanical resonators  microsensors  piezoresistive devices   Improvement of fabrication and characterization methods for micromechanical disk resonators 期刊论文 chinese physics b, 2012, 卷号: 21, 期号: 10, 页码: 100702 Zhao H (Zhao Hui); Luo W (Luo Wei); Zheng HY (Zheng Hai-Yang); Yang JL (Yang Jin-Ling); Yang FH (Yang Fu-Hua) 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/03/26