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	Design of the MEMS-based straight-beam micromirror using a genetic algorithm 其他 2014-01-01 Chen, Qing Hua; Li, Yan Mei; Chen, Ying Jun; Wu, Wen Gang 收藏 \| 浏览/下载：6/0 \| 提交时间：2015/11/17
	A DMD-based hyperspectral imaging system using compressive sensing method 其他 2014-01-01 Sun Zhongqiu; Chen Bo; Cheng Chengqi 收藏 \| 浏览/下载：6/0 \| 提交时间：2015/11/13 Hyperspectral Imaging Systems Compressive Sensing DMD spectral filter
	An improved design method of the MEMS-based folded-beam micromirror 其他 2014-01-01 Li, Yan Mei; Chen, Qing Hua; Chen, Ying Jun; Wu, Wen Gang 收藏 \| 浏览/下载：3/0 \| 提交时间：2015/11/13
	Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators 其他 2013-01-01 Zhao, Danqi; Zhang, Xia; He, Jun; Huang, Xian; Yang, Fang; Liu, Peng; Zhang, Dacheng 收藏 \| 浏览/下载：3/0 \| 提交时间：2015/11/10 CMOS-MEMS Monolithic integration Stress Hydrogen Resonator sensor POLY-SIGE CMOS DEVICES EMBRITTLEMENT TEMPERATURE FABRICATION FRACTURE HYDRIDE WAFERS
	Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators 期刊论文 Sensors and Actuators, A: Physical, 2013 Zhao, Danqi; Zhang, Xia; He, Jun; Huang, Xian; Yang, Fang; Liu, Peng; Zhang, Dacheng 收藏 \| 浏览/下载：4/0 \| 提交时间：2017/12/03
	Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing 期刊论文 journal of micro nanolithography mems and moems, 2012 Wang, Jiankun; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏 \| 浏览/下载：6/0 \| 提交时间：2015/11/13 electrostatic actuator silicon-on-insulator asymmetrical comb drive capacitive position sensing VERTICAL COMB ELECTRODES CMOS-MEMS DRIVE DESIGN MICROMIRROR SENSORS
	Micro torsion mirror actuated by compound electrostatic driving structure 期刊论文 sensors and actuators a physical, 2007 Wu, W. G.; Chen, Q. H.; Yan, G. Z.; Yin, D. Q.; Chen, Z. Y.; Hao, Y. L.; Xu, A. S.; Wang, Y. Y. 收藏 \| 浏览/下载：4/0 \| 提交时间：2015/11/10 torsion mirror compound electrostatic driving structure planar plate drive vertical comb drive mixed silicon micromachining DESIGN CONSIDERATIONS MICROMIRROR
	基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征期刊论文纳米技术与精密工程, 2006 栗大超; 吴文刚; 袁勇; 郝一龙; 胡小唐收藏 \| 浏览/下载：2/0 \| 提交时间：2015/11/11 光学微镜垂直扭转梳齿驱动折叠梁光学反射硅微加工 optical micromirror vertical torsion comb driver folded beam optical reflectivity silicon micromachining
	基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜期刊论文传感技术学报, 2006 栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐收藏 \| 浏览/下载：1/0 \| 提交时间：2015/11/11 MEMS 扭转微镜硅微加工 SOI 复合驱动表面粗糙度 MEMS torsion micromirror silicon micromachining SOI compound driving structures surface roughness
	Design, fabrication and characterization of novel micromirror with vertical torsion comb driver 期刊论文 nami jishu yu jingmi gongchengnanotechnology and precision engineering, 2006 Li, Da-Chao; Wu, Wen-Gang; Yuan, Yong; Hao, Yi-Long; Hu, Xiao-Tang 收藏 \| 浏览/下载：3/0 \| 提交时间：2015/11/13

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