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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Bulge testing and fracture properties of plasma-enhanced chemical vapor deposited silicon nitride thin films 期刊论文 thin solid films, 2009, 卷号: 517, 期号: 6, 页码: 1989-1994 作者:  Li Y 收藏  |  浏览/下载：359/38  |  提交时间：2010/03/08 Bulge test  Fracture property  Silicon nitride  Weibull distribution function   Fracture properties of silicon carbide thin films charcterized by bulge test of long membranes 会议论文 3rd ieee international conference of nano/micro engineered and molecular systems, sanya, peoples r china, jan 06-09, 2008 Zhou, W; Yang, JL; Sun, GS; Liu, XF; Yang, FH; Li, JM 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2010/03/09 bulge test fracture property  silicon carbide thin films  Weibull distribution function   Fracture properties of silicon carbide thin films by bulge test of long rectangular membrane 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2008, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 453-461 Zhou, W; Yang, JL; Sun, GS; Liu, XF; Yang, FH; Li, JM 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2010/03/08 bulge test  fracture property  microelectromechanical systems (MEMS)  silicon carbide (SiC) thin films  Weibull distribution function