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用固相外延方法制备Si_(1-x-y)Ge_xC_y三元材料 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 9, 页码: 862
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2010/11/23


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