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科研机构
上海技术物理研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2019 [2]
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发表日期:2019
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基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
期刊论文
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 331-337
作者:
刘向阳
;
徐国庆
;
贾嘉
;
孙艳
;
李向阳
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提交时间:2019/11/13
碲镉汞
离子束
刻蚀轮廓
水平集方法
刻蚀速度减缓
深宽比
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究
期刊论文
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 2, 页码: 171-174
作者:
许佳佳
;
黄敏
;
徐庆庆
;
徐志成
;
王芳芳
收藏
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浏览/下载:24/0
  |  
提交时间:2019/11/13
电感耦合等离子
刻蚀
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格
焦平面
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