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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 其他 2006-01-01 栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度   自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造 其他 2004-01-01 汪超; 陈海青; 余洪斌 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/10/23 自适应光学系统  变形镜  静电驱动  体硅工艺  凸角补偿   JBX-5000LS电子束混合光刻对准标记制作技术 其他 2003-01-01 陈宝钦; 刘明; 任黎明; 卜伟海; 张国艳; 陆晶; 龙世兵; 李泠; 薛丽君; 牛洁斌 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 电子束光刻 混合光刻 对准标记