| 自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造 | |
| 汪超 ; 陈海青 ; 余洪斌 | |
| 2004 | |
| 关键词 | 自适应光学系统 变形镜 静电驱动 体硅工艺 凸角补偿 |
| 英文摘要 | 文章介绍了一种大有效反射面积的连续表面变形镜的设计制造方法。首先从理论上给出了变形镜的物理模型及仿真结果，分析了此方案的特点，着重从解决 MEMS 工艺制造大表面积器件上给出了新的思路。并给出了实验制造的产品，分析了在大有效反射面积的变形镜制造过程中遇到的凸角补偿，阳极键合，划片等问题，给出了解决方案。; 0 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 其他 |
| 源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/24248]  |
| 专题 | 信息科学技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪超,陈海青,余洪斌. 自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造. 2004-01-01. |
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