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扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备(英文) 期刊论文
2009
王凌云; 李文望; 庄根煌; 孙道恒
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硅基微机械红外光源的设计和制备 学位论文
2009, 2009
程美英
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