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科研机构
厦门大学 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2009 [2]
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专题:厦门大学
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发表日期:2009
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扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备(英文)
期刊论文
2009
王凌云
;
李文望
;
庄根煌
;
孙道恒
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提交时间:2016/05/17
隧道效应
陀螺仪
DDSOG
隧道传感器
tunneling effect
gyroscope
Deep Dry Silicon on Glass(DDSOG)
tunneling sensor
硅基微机械红外光源的设计和制备
学位论文
2009, 2009
程美英
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提交时间:2016/02/14
红外光源
MEMS
调制特性
Infrared Emitter
MEMS
Modulation Characteristics
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