| 题名 | 硅基微机械红外光源的设计和制备; Design and Fabrication of Silicon-based Micromachined Infrared Emitter |
| 作者 | 程美英 |
| 答辩日期 | 2009 ; 2009 |
| 导师 | 陈旭远 |
| 关键词 | 红外光源 MEMS 调制特性 Infrared Emitter MEMS Modulation Characteristics |
| 英文摘要 | 随着经济的迅速发展，工业生产和交通运输等产生的气体对环境的污染日益严重，人们对空气质量的监测提出了更高的要求。红外气体传感器选择性好、灵敏度高，在气体定性和定量分析方面应用非常广泛。作为红外气体传感器的重要部件，红外光源的性能很大程度上决定了红外传感器的性能。与传统红外光源相比，采用微电子机械系统（MEMS）加工技术制备的红外光源具有体积小、功耗低、可调制和成本低的特点，使它受到人们的广泛关注，成为当前研究的重点。 本文设计并加工了一种新型的硅基微机械红外光源，下文简称MEMS红外光源，并对其进行了光谱特性，调制特性和可靠性测试研究。在MEMS红外光源设计中，选用多晶硅材料作为光源的发光材料...; With the rapid economic development, the global environmental condition sets to deteriorate because of the greenhouse and harmful gas produced by industry and transportation. The gas sensors become more and more needed for monitoring air quality. In many sorts of gas sensors, Infrared gas sensor has a wide range of applications in both qualitative and quantitative gas analysis because of its advan...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_测试计量技术及仪器; 学号：19920061151870 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=22455 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54471]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程美英. 硅基微机械红外光源的设计和制备, Design and Fabrication of Silicon-based Micromachined Infrared Emitter[D]. 2009, 2009. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论