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上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2004 [3]
学科主题
Physics, A... [3]
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学科主题:Physics, Applied
发表日期:2004
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Formation of silicon-on-diamond by direct bonding of plasma-synthesized diamond-like carbon to silicon
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 85, 期号: 13, 页码: 2532-2534
Zhu, M
;
Chu, PK
;
Shi, XJ
;
Wong, M
;
Liu, WL
;
Lin, CL
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提交时间:2012/03/24
IMMERSION ION-IMPLANTATION
AMORPHOUS-CARBON
TECHNOLOGY
FILMS
Electron field emission from SiC/Si heterostructures by high temperature carbon implantation into silicon
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 84, 期号: 26, 页码: 5461-5463
Xing, YM
;
Zhang, JH
;
Yang, WW
;
Yu, YH
;
Song, ZR
;
Lin, ZX
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
DIAMOND-LIKE CARBON
ENHANCEMENT
ARRAYS
LAYERS
FILMS
Comparative study of SOI/Si hybrid substrates fabricated using high-dose and low-dose oxygen implantation
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 37, 期号: 13, 页码: 1732-1735
Dong, YM
;
Chen, M
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE LAYERS
ION-IMPLANTATION
SILICON
OXIDATION
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