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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2018    专题：地质与地球物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238 作者:  Chan, Elena;  Lin, Dequan;  Lu, Lei;  Zhang, Deqiang;  Guo, Shichao 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2018/09/26 Pressure sensor  piezoresistive  MEMS  silicon  bulk  eutectic bonding   Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238 作者:  Chan, Elena;  Lin, Dequan;  Lu, Lei;  Zhang, Deqiang;  Guo, Shichao 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2018/09/26 Pressure sensor  piezoresistive  MEMS  silicon  bulk  eutectic bonding