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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Plastic Deformation of Micromachined Silicon Diaphragms with a Sealed Cavity at High Temperatures 期刊论文 SENSORS, 2016, 卷号: 16, 期号: [db:dc_citation_issue] 作者:  Ren, Juan;  Ward, Michael;  Kinnell, Peter;  Craddock, Russell;  Wei, Xueyong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 pressure sensor  single crystal silicon  microfabrication  plastic deformation